半導(dǎo)體被廣泛應(yīng)用于制作電子、電器,也能夠用來(lái)制作半導(dǎo)體器件和集成電路的電子原件。那么在生產(chǎn)這些半導(dǎo)體時(shí)會(huì)產(chǎn)生一些有害氣體,這些有害氣體屬于高污染氣體,會(huì)對(duì)大氣造成嚴(yán)重的危害。因此,我們需要選用果殼活性炭來(lái)對(duì)這些危害氣體進(jìn)行凈化處理。
在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中對(duì)操作車間的清潔度要求很高,而在半導(dǎo)體制造中所產(chǎn)生的廢氣排放具有排氣量大、排放濃度小的特點(diǎn)。這些半導(dǎo)體在生產(chǎn)制做中所產(chǎn)生的廢氣排放以蒸發(fā)為主,這些廢氣可分為四類:酸性廢氣、堿性廢氣、有機(jī)廢氣和有毒廢氣,會(huì)對(duì)身體健康和大自然帶來(lái)不可估量的傷害,所以對(duì)這些廢氣處理不可忽視。
果殼活性炭具有較強(qiáng)的吸附性和催化性能,耐酸堿、耐熱、不溶于水和有機(jī)溶劑、易再生等優(yōu)點(diǎn),對(duì)吸附半導(dǎo)體生產(chǎn)中產(chǎn)生的廢氣有很好的作用。這些有毒、有害氣體在經(jīng)過(guò)裝置有果殼活性炭的廢氣處理設(shè)備時(shí),會(huì)被活性炭強(qiáng)大的比表面積及多孔性結(jié)構(gòu)牢牢的鎖住吸附在活性炭?jī)?nèi),通過(guò)果殼活性炭的凈化,排放就可以達(dá)到國(guó)家要求的凈化排放標(biāo)準(zhǔn)。
果殼活性炭具有較強(qiáng)的吸附性和催化性能,原料充足且耐酸堿、耐熱、不溶于水和有機(jī)溶劑、易再生等優(yōu)點(diǎn),在半導(dǎo)體生產(chǎn)中應(yīng)用廣泛且效果顯著。